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高靈敏度柔性應變傳感器的制作方法

934   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:51
本發明屬于柔性應變傳感器制作領域，柔性應變傳感器需具備良好的延展性、高的靈敏度、寬檢測范圍，現有的高靈敏的柔性應變傳感器存在檢測范圍低，制作方法復雜等問題；而具有較大的檢測范圍的應變傳感器存在靈敏度低，檢測下限高等問題，本發明提供一種高靈敏度柔性應變傳感器的制作方法，通過等離子增強化學氣相沉積系統，利用三維化二維材料力學性能和網狀結構，使網狀基底上的三維化二維材料為基礎制作的傳感材料在受到應力而導致應變時產生應變集中效果，產生敏感的拉力響應，實現對傳感材料的微小應變的檢測，提升了應變傳感材料的靈敏度和力學性能，實現更大范圍的應變響應。
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“高靈敏度柔性應變傳感器的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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