一種植入式微納電極陣列芯片及其制備方法,該芯片包括硅針基底、微電極陣列、對電極、電化學參比電極和電生理參比電極;其中,硅針基底分布于所述芯片前端的植入部分與后端的接口部分;在每根硅針尖端上表面分布多個微電極,所述多個微電極構成微電極陣列;在單根硅針或者多根不同硅針上面靠近所述微電極陣列的位置處設置有對電極、電化學參比電極和電生理參比電極。本發明微電機陣列硅針長度依次遞減,4根硅針上面分布4組微電極陣列,用于同時檢測大腦皮層、海馬區與丘腦區的電生理信號,避免多次植入損傷,能長時間連續檢測。
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