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固定環及拋光頭

707   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:09
本發明涉及一種固定環，用于化學機械拋光裝置中，化學機械拋光裝置包括拋光盤和拋光頭，拋光頭包括晶片載體和固定環，晶片載體用于夾持半導體晶片，拋光盤與晶片接觸并與拋光頭分別以相反的方向進行旋轉以拋光晶片，固定環包括：環形基體，設于晶片載體下方，環繞晶片側表面，用于固定晶片；至少一易斷導線，固定于環形基體表面，沿環形基體的周長方向延伸并環繞一周；通斷狀態檢測裝置，其分別與各易斷導線連接，并在任一易斷導線斷裂時發出報警信號；信號處理裝置，與通斷狀態檢測裝置輸出端連接，將報警信號轉化為拋光停止信號，用于指示拋光頭和拋光盤停止旋轉。其可有效降低因固定環破裂給工藝帶來的損失，有利于提升晶圓制備工藝效率。
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聲明：
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