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利用單根集成電阻同時實現驅動及自清洗的微機械懸臂梁

882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:33:28
本發明涉及一種利用單根集成電阻同時實現驅動及自清洗的微機械懸臂梁的結構、制作方法及應用,屬于微機械傳感器領域。具體特征是在懸臂梁的固定端處表面制作集成驅動電阻,在懸臂梁的自由端處表面淀積特異性識別的敏感膜。當在驅動電阻上施加一定的交流疊加直流的電流時,可以驅動起懸臂梁達到諧振狀態,從而作為傳感器檢測特定化學物質。當檢測完成后,可以通過增大施加在驅動電阻上的電流,將驅動電阻作為加熱器提高懸臂梁的溫度,加速吸附化學物質的解吸附,實現傳感器的自清洗,從而實現快速重復檢測。本發明的特點是結構簡單、制作方便、容易實現。
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“利用單根集成電阻同時實現驅動及自清洗的微機械懸臂梁” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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