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基于電潤濕的共形光傳感集成的數字微流芯片

920   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:33:28
本發明公開了一種在數字微流生化檢測等極低樣品消耗的檢測應用領域中，能夠對數字微流控芯片中攜帶不同成分的液滴所發生的化學反應進行實時監測的集成共形光傳感結構的電潤濕數字微流芯片。該芯片在不改變當前電潤濕結構與性能的基礎上，在電潤濕的相鄰的電極間隙嵌入一個亞波長尺度的光傳感結構并在結構上保持與電潤濕結構疏水層共一個平面的共形結構，通過檢測液滴反應過程中發生的折射率微小變化所導致的光傳感結構光場變化而實現對微液滴成份及位置的測定。與傳統的電容、電阻抗傳感器、電化學傳感以及分立原件組成的光傳感相比，本發明具有結構簡單，標準CMOS兼容工藝更易于集成，成本低、精度高的優點。此外，傳感結構與電潤濕結構共形的特性使得傳感功能的加入不會以降低電潤濕性能為代價。
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聲明：
“基于電潤濕的共形光傳感集成的數字微流芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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