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硅懸臂梁傳感器及其制備方法和應用

785   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:32:26
本發明涉及一種硅懸臂梁傳感器及其制備方法和應用,屬于微納米傳感器領域。即在懸臂梁的自由末端附近通過選擇性陽極氧化方法在氫氟酸溶液內形成多孔硅結構。利用該多孔硅區域增大的比表面結構,在硅孔內壁上自組裝大量特異性識別的具有硅氧頭基和特異性尾基的線性聚合物或超枝化聚合物敏感分子,可以特異性俘獲大量的被檢測化學分子以積累較大的被測物俘獲質量。本發明的一種硅懸臂梁傳感器結構簡單、制作方便、容易實現,可以應用在痕量化學氣體檢測。
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