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具有直流電極的薄膜體聲波諧振生化傳感器

994   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:32:26
本發明公開了一種具有直流電極的薄膜體聲波諧振生化傳感器。包括直流電極、壓電薄膜堆棧、聲波反射層堆棧和化學敏感涂層。傳感器利用設置于化學敏感涂層兩側的直流電極測量需檢測物質物與化學敏感涂層吸附或反應后電阻的變化，同時在壓電薄膜堆棧的射頻上下電極之間施加射頻電信號，激發壓電薄膜的體聲波諧振，測量需檢測物質物與化學敏感涂層的頻率變化。由于傳感器同時提供電阻變化信息和頻率變化信息，因此可以利用電阻變化來分辨頻率變化相同的不同需檢測物質，提高了薄膜體聲波諧振生化傳感器對復雜多組分檢測物的識別能力。
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“具有直流電極的薄膜體聲波諧振生化傳感器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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