一種半導體領域用高品質石英砂的制備方法,其主要包括粉碎、篩分、磁選、預熱、高溫氯化、酸化、浮選、清洗、烘干、冷卻、包裝等步驟,其中在高溫條件下通入氯化氫氣體進行氯洗;在高溫氯化前采用高溫預熱的方式,使高溫氯化時物料的溫度迅速能夠達到氯化工藝要求的溫度,對石英砂中的堿金屬等雜質的去除有很好的效果;酸化選用氫氟酸與鹽酸混合作為酸化液,能夠去除石英砂中的晶格及非晶格雜質;浮選選用胺類及石油磺酸鈉為捕收劑,松醇油為起泡劑,用鹽酸和硫酸為調整劑,反浮選的方式選出石英砂中的長石及云母等硅酸鹽礦物。采用本發明的制備方法,可以從天然石英礦物中批量生產出半導體領域用高品質石英砂,替代進口,填補國內空白。
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