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原位成型式光學微透鏡的激光微制造裝置及方法

875   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:13
本發明提出一種新的原位成型式光學微透鏡的激光微制造裝置及方法,屬于生物學、分析化學及醫學檢測等領域。該套裝置與方法將紫外固化光學膠從一定高度釋放,滴落在芯片原定位置上,即生物芯片微光譜檢測系統的光激發單元和光檢測單元的濾光片上,用一定功率的紫外激光照射一定的時間,將光學膠液滴固化成吻合設計形狀的光學微透鏡。本發明的本質是在需要微透鏡的微點平面上直接原位成型光學系統所要求的非球曲面光學微透鏡,不需要任何模具或掩模等微尺度輔助工具,避免了傳統方法的兩大技術難題,方法簡單、制作速度快、成本低、適合批量生產。
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