本發明公開了一種基于熱塑性彈性體的壓敏元件及面載荷分布測量裝置的原理及使用方法。該壓敏元件采用在化學腐蝕硅片上形成的周期性金字塔結構負形,將其作為模具在熱塑性彈性體平面上形成周期性金字塔結構,通過沉積導電層和刻蝕電路,形成單個或多個導電錐體的選通,測量形變時導電錐體與平面電極之間電容變化,得到施加于上述陣列的載荷及其分布的高靈敏度測量。
聲明:
“基于熱塑性彈性體的壓敏元件及面載荷分布測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)