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高占空比背照式GaN探測器陣列及其制作方法

848   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:47
本發明屬于探測器陣列的制作工藝技術領域，具體涉及一種高占空比背照式GaN探測器陣列及其制作方法，所述制作方法包括在GaN外延片上濺射Ni/Au層；在所述Ni/Au層上采用等離子體增強化學的氣相沉淀法PECVD生長SiNx/SiO2膜；在所述SiNx/SiO2膜上涂覆光刻膠層；曝光顯影，采用接觸式曝光模式曝光探測器GaN外延片；采用電磁耦合等離子體ICP方法刻蝕SiNx/SiO2膜；采用電磁耦合等離子體ICP方法刻蝕GaN層；采用氫氟酸去除SiNx/SiO2膜及殘余光刻膠；本發明本發明具有成本低、效率高、制作工藝簡單等優點，在制作背照式GaN探測器陣列的技術領域內有突出的技術優勢。
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