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面向人體健康監測的柔性應變傳感器及其制備方法

984   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:46
本發明公開了一種面向人體健康監測的柔性應變傳感器及其制備方法，所述面向人體健康監測的柔性應變傳感器包括柔性襯底、位于襯底上的二硒化鈀(PdSe2)薄膜、金屬電極及聚合物封裝鈍化膜。所述制備方法具體步驟為：在柔性襯底上直接生長一層二硒化鈀薄膜，二硒化鈀通過等離子體增強化學氣相沉積法(PECVD)硒化制備而成，在二硒化鈀薄膜上鍍金屬電極，再使用聚合物膜封裝。本發明的優點是二硒化鈀材料低溫合成兼容柔性基底，工藝簡潔，易于集成，便于大規模生產高靈敏面向人體健康監測的柔性應變傳感器。
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