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實時觀測納米顆粒運動的實驗臺

733   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:57
一種實時觀測納米顆粒運動的實驗臺,由定位系統、運動加載系統、觀測系統和計算機四部分組成。定位系統可實現低精度的水平定位和高精度的垂直定位。運動加載系統可令拋光墊以設定的速度相對于固定的玻璃片旋轉,并使拋光墊與玻璃片接觸擠壓,通過壓力傳感器測得壓力,壓力的大小由電控平移臺控制。觀測系統可以實時標記和追蹤單個納米顆粒的位置和運動。本發明可模擬實際化學機械拋光工況,確定納米顆粒的運動規律,為深入理解化學機械拋光中顆粒的作用提供直接證據,具有靈敏度高、測量精度高、穩定性高的特點。
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