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原子層沉積前驅體用量的監測系統及其方法與應用

958   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:20
本發明屬于材料表面包覆技術領域，尤其涉及一種原子層沉積前驅體用量的監測系統及其方法與應用，包括：橢偏儀或X射線反射儀，用于質控體和基體以監控包覆層厚度；氣體流量計，用于實時控制氣體流量；微分電化學質譜，用于監控尾氣成分；所述橢偏儀與原子層沉積反應腔相鄰設置；所述質控體與所述基體設于所述原子層沉積反應腔內，進行包覆處理；所述氣體流量計設于所述原子層沉積反應腔內壁，所述微分電化學質譜與所述原子層沉積反應腔的尾氣系統相連。對反應程度進行實時檢測和反應結束狀態進行預判，保證了基體和前驅體充分接觸反應，實現對反應進程的準確把控，對前驅體用量的精確控制，解決了ALD包覆生產中前驅體用量大和利用率低的問題。
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