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氣體感測器及其制作方法

886   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:18
一種氣體感測器及其制作方法，氣體感測器包含一基板、一加熱層、一絕緣層及多個排列的檢測單元，該加熱層設置于該基板上，該絕緣層設置于該加熱層上，該檢測單元設置于該絕緣層上，該檢測單元包括一檢測電極、一阻隔部以及一反應感測膜，該阻隔部包括多個向上延伸的阻隔壁，該阻隔壁圍繞該檢測電極而形成一容置空間，該反應感測膜設置于該阻隔部內的該容置空間并和該檢測電極接觸，當該反應感測膜和一待測氣體接觸時會進行一電化學反應，使該檢測電極產生一對應該待測氣體的識別信號。
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