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p GaNi GaN n BN中子探測器

998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:24:12
本發明公開一種p?GaN/i?GaN/n?BN中子探測器，該中子探測器由Al2O3襯底層、n?BN層、i?GaN層、p?GaN層組成。其制備方法如下：在一定厚度的Al2O3襯底上，利用金屬有機物化學氣相沉積技術先生長n?BN，而后生長未摻雜的i?GaN，最后生長p?GaN，再用感應耦合等離子體刻蝕出n?BN，最后用電子束蒸發在n?BN和p?GaN層分別蒸鍍歐姆接觸金屬電極，完成中子探測器的制作。本發明制備工藝簡單、無需單獨制備中子轉換層，能量分辨率高、探測效率高且結構簡單，在航空航天探索、核能利用與開發、放射性同位素的產生應用以及一些特殊領域有重要的應用價值。
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