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基于超高真空條件下揮發性腐蝕性物質薄膜沉積與催化反應測試裝置

1155   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:23:24
本發明涉及一種基于超高真空條件下揮發性腐蝕性物質薄膜沉積與催化反應測試裝置，基于超高真空條件下揮發性和腐蝕性物質薄膜沉積裝置包含有主傳樣腔，生長腔，三維樣品操縱臺，蒸發源等可用于揮發性腐蝕性物質薄膜的沉積，腔體外置組件包含進氣系統，通入沉積所需化學氣氛以及反應測包含抽氣機組；基于超高真空條件下催化反應測試裝置包括反應腔和快速進樣室，反應腔包括溫控樣品臺，樣品加熱源較為局域可更換式，可減小反應中背景干擾，實現不同溫度下的精確的催化反應活性測試，腔體外置組件包含進氣系統，可通入發生化學反應氣。本發明適用于多種揮發性、腐蝕性物質薄膜的制備，與多種超高真空分析儀器進行聯結，實現催化劑反應活性的精確測試。
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“基于超高真空條件下揮發性腐蝕性物質薄膜沉積與催化反應測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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