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多柵極石墨烯場效應晶體管傳感器陣列及多重檢測方法

719   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:20:08
本發明提出一種多柵極石墨烯場效應晶體管傳感器陣列和它的制備方法,所述的傳感器陣列是在玻璃基板上濺射沉積圖案化的源極和漏極,氣相沉積單層石墨烯溝道,設置多個不同功能性材料修飾的柵電極;傳感器由漏極、源極和多個柵極共同組成的。所述制備方法包括如下步驟:清洗和制作玻璃基底;制備圖案化復合金電極;利用磁控濺射的射頻磁控管在玻璃薄片上依次濺射沉積圖案化的Cr/Au電極作為場效應晶體管的源極、漏極和柵極;通過化學氣相沉積法CVD于預定厚度的銅箔上合成單層石墨烯層;將石墨烯切割成預定尺寸,利用濕化學法在去離子水中將石墨烯轉移至圖案化的源極和漏極之間的溝道上,清洗退火;封裝制作好的傳感器陣列器件。
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