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脂肪族聚氨酯光學終點檢測窗口和含有它們的CMP拋光墊

1097   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:19:34
本發明提供一種用于拋光例如半導體襯底的化學機械(CMP)拋光墊，具有一個或多個在2mm厚度下將具有325nm或更低波長下的UV截斷的終點檢測窗口(窗口)，且所述化學機械(CMP)拋光墊是(A)30到56wt.％的一種或多種脂環族二異氰酸酯或多異氰酸酯與(B)43到69.9999的(i)平均分子量為500到1,500的聚合二醇，如用于硬質窗口的聚碳酸酯二醇和用于軟質窗口的聚醚多元醇，與(ii)平均分子量為120到320的三醇的多元醇混合物，其中聚合二醇(B)(i)與三醇(B)(ii)的重量比在1.6:1到5.2:1范圍內，以及催化劑的反應混合物的產物，所述催化劑優選仲胺或叔胺或新癸酸鉍，所有重量百分數均以所述反應混合物的總固體重量計。
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