本實用新型公開了一種刻蝕時間檢測裝置及刻蝕設備,用于解決檢測刻蝕時間數據失真嚴重的問題。本實用新型在刻蝕設備的上下基板上安裝了光線透過率檢測器件,通過光線的透過率來檢測刻蝕液進行化學反應的狀態,在透過率到達設定門限時記錄刻蝕反應的結束時間,實現刻蝕時間的自動檢測,從而解決了傳統上目測而產生的誤差,得到準確的刻蝕時間,進而實現了工藝優化,提高了良品率。
聲明:
“刻蝕時間檢測裝置及刻蝕設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)