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檢測淺溝槽隔離缺陷的方法

1093   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:17:28
本發明提出一種檢測淺溝槽隔離缺陷的方法，包括下列步驟：在半導體基底上形成淺溝槽；在所述淺溝槽內沉積墊氧化層；在所述墊氧化層上沉積界面層；在所述界面層上沉積二氧化硅氧化層；對上述結構進行檢測，其中，在所述墊氧化層上沉積界面層的步驟采用原子層沉積方法。本發明提出的檢測淺溝槽隔離缺陷的方法，能夠有效檢測出淺溝槽隔離的缺陷，并縮短高密度等離子體化學氣相淀積填充淺溝槽的工藝調整周期。
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聲明：
“檢測淺溝槽隔離缺陷的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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