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制造具有改進的吸氣劑保護的檢測裝置的方法

1217   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:11:28
本發明涉及一種用于制造檢測裝置的方法，包括以下步驟：·基于位于覆蓋熱檢測器(20)的礦物犧牲層(62)上的無定形碳來產生吸氣劑墊(50)；·產生位于礦物犧牲層(62)上并覆蓋吸氣劑墊(50)的上表面和側壁的薄封裝層；·通過第一化學蝕刻去除礦物犧牲層；·通過第二化學蝕刻去除吸氣劑墊(50)的保護段(51)。
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“制造具有改進的吸氣劑保護的檢測裝置的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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