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鈀納米顆粒離散薄膜檢測氫氣的方法

903   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:11:25
本發明公開了一種鈀納米顆粒離散薄膜檢測氫氣的方法，包括如下步驟：首先準備六氟乙酰丙酮鈀（Ⅱ）、福爾馬林、石英玻璃基底、高純氮和碳支持膜；在真空環境下將六氟乙酰丙酮鈀（Ⅱ）作為前驅體通入反應室，六氟乙酰丙酮鈀（Ⅱ）作為前驅體與石英玻璃基底表面發生化學吸附和化學反應；福爾馬林作為前驅體與已經結合在基底的六氟乙酰丙酮鈀（Ⅱ）前驅體發生化學反應。本發明能有效提高傳感薄膜對氫氣的響應速率，并且能夠有效避免純鈀在高濃度氫氣中引起的相變現象，保證檢測的準確性，解決了現有光纖氫氣傳感器中的鈀釔合金薄膜容易被空氣中氧氣毒化，導致薄膜起泡開裂等引起零點漂移，影響了氫氣檢測準確性的問題。
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