本實用新型涉及一種槽式電化學沉積用藥液添加裝置,它包括:加液桶,所述加液桶內設置有液位計;進液管路,所述進液管路的出口連接在所述加液桶底部;出液管路,所述出液管路的進口連接在所述加液桶底部,所述出液管路中設置有氣動閥,所述氣動閥的出液端設置有節流片。由于進液管路連接在加液桶底部,因此加液時不會沖液液面,不會影響液位計測量液位;且氣動閥的出端液設置有節流片,小流量補加進入槽體,可避免氣動閥直接開合而擠壓管道內殘留的藥液繼續向槽內補加,造成補加不準的問題。因此,提高了藥液加液精度。
聲明:
“槽式電化學沉積用藥液添加裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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