本實用新型公開了一種硅微通道電化學腐蝕試驗裝置,包括帶有HF腐蝕液的電解槽、恒電位儀以及陣列式LED燈,所述電解槽內設有與n型硅電極相插接的第一插接槽、與飽和甘汞電極相插接的第二插接槽以及與鉑電極相插接的第三插接槽,所述n型硅電極、飽和甘汞電極以及鉑電極分別通過導線與恒電位儀電性連接,所述電解槽內固定設有兩個與蓄電池電性連接的加熱電阻器,所述陣列式LED燈設于電解槽的左側且正對于第一插接槽,所述n型硅電極的右端插接于第一插接槽內,且n型硅電極的左端裸露于電解槽的左端且正對于陣列式LED燈。本實用新型便于對各個電極進行固定定位,操作簡單,使得測量的結果更精準,增加實驗的成效。
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)