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強電流直流電弧等離子體化學氣相沉積裝置

782   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:29
本實用新型提供了一種強電流直流電弧等離子體化學氣相沉積裝置,由陰極部分、陽極、真空室、真空泵系統、壓力測控裝置、直流電弧弧柱、制品架、電源、磁場線圈組成;陰極部分(1)和陽極(8)處于圓桶狀真空室(2)軸線的兩端;一對磁場線圈(12)、(13)同軸地處于真空室(2)外的上下兩側;真空室(2)與真空泵系統(3)、壓力測控裝置(4)由真空管路相連接。陰極部分(1)由陰極桿(6)、陰極體(7)、保護氣體通道體(14)、反應氣體通道體(15)以及絕緣體(17)、(18)所組成;在保護氣體通道體(14)、反應氣體通道體(15)的下方是陰極噴口(16)。本實用新型的優點在于:壽命與結構穩定性將可獲得大幅度的改善并可靠性提高。
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“強電流直流電弧等離子體化學氣相沉積裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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