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高溫金屬有機化學氣相淀積反應器

1063   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:14
本發明公開了一種高溫金屬有機化學氣相淀積反應器,包括殼體、反應室、送樣室、真空裝置、尾氣處理裝置以及操作控制裝置,其特征在于:所述反應室為上底面小于下底面的錐桶形結構,包括多邊形錐臺式襯底托及套于襯底托外側的內罩,所述內罩的傾角大于襯底托傾角3°～5°,形成反應氣體通道,反應氣體自下經氣體通道由反應室頂部的出氣口排出;沿襯底托的外緣斜面布置有復數個襯底鋪設位,所述內罩上設有與監測點配合的光學窗口,供操作控制裝置實時監控。本發明通過錐桶形結構的反應室,使送氣方向與浮熱方向基本一致,減少渦流產生,防止預反應的發生,提高了外延材料的質量和均勻性。
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