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微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置及方法

883   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:13
本發明公開了微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置及方法。核心元件包括內套圈、保持架、滾動體、外套圈。拋光裝置包括元件自轉模塊、外套圈轉向模塊、元件夾持模塊、拋光液池旋轉模塊、支架。其中，元件夾持模塊針對性提供內套圈夾具、保持架夾具、滾動體夾具、外套圈夾具。拋光方法包括安裝調試拋光裝置、配制柔性化學機械拋光液、設置拋光工藝參數、測量表面質量并反饋。柔性化學機械拋光液包括非牛頓流體、0.01?40wt％的研磨顆粒、0?10wt％的氧化劑、0?10wt％的金屬絡合劑、0?5wt％的金屬緩蝕劑、以及余量的水，pH值2.0?10.0。本發明通過優化化學反應和力流變效應機械力的協同作用，能夠實現核心元件表面超精密低損傷加工以及復雜曲面保形加工，且綠色環保。
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聲明：
“微型軸承核心元件超精密柔性化學機械拋光裝置及方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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