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包含光學探針的電化學沉積系統

828   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:01:13
一種電化學沉積系統包括：電化學沉積室，其包括用于電化學沉積的電解液；襯底保持器，其被配置成保持襯底并且包括與所述襯底電氣連接的第一陰極；第一致動器，其被配置成調整所述襯底保持器在所述電化學沉積室中的豎直位置；陽極，其浸沒在所述電解液中；第二陰極，其被配置成在所述第一陰極與所述陽極之間；第一光學探針，其被配置成，當所述襯底被浸沒在所述電解液中時，在距離所述襯底的中心第一距離處測量所述襯底的第一反射率；以及控制器，其被配置成在所述電化學沉積的期間，基于所述襯底的所述第一反射率而選擇性地調整施加至所述第一陰極的功率、施加至所述第二陰極的功率、施加至所述陽極的功率、以及所述襯底保持器的所述豎直位置中的至少一者。
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