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集成式化學傳感器芯片

1036   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:00:53
一種集成式化學傳感器芯片,包括公共基片(14)上的或集成在公共基片(14)內的化學敏感層(11)以及用于加熱敏感層(11)的加熱器(15)。此外,存儲器(3)被設置成用于儲存測量例程,所述測量例程包括限定隨時間變化的加熱過程的指令以及限定一個或多個測量時間點的指令。I/O接口(6)被設置成用于接收所述測量例程的觸發,并用于提供所述測量例程的結果。主機(4)控制加熱器(15)并且根據所述測量例程的指令測量敏感層(11)的電阻。
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