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化學機械研磨設備工藝能力的監控方法

880   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:47
本發明提供了一種化學機械研磨設備工藝能力的監控方法，在所述晶圓的邊緣上形成多個測試區域，然后在每個所述測試區域中形成沿著所述測試區域長度方向排布的金屬線，對所述晶圓進行化學機械研磨工藝后，所述金屬線的厚度也會隨之改變，獲取每個所述金屬線的電阻分布圖，由于所述金屬線的截面寬度處處相等，所述金屬線的電阻僅與所述金屬線的厚度相關，可以根據所述電阻分布圖可以反饋出所述化學機械研磨設備工藝能力的好壞，實現在線監控所述化學機械研磨設備工藝能力，當所述化學機械研磨設備工藝能力不滿足控制要求時，可以及時的調整化學機械研磨設備的工藝參數，防止批量性不良品的產生，提高了晶圓的良率，從而降低了制造成本。
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