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用于動態調整化學機械拋光速率的方法

1135   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:47
本發明公開了一種用于動態調整化學機械拋光速率的方法,包括下列步驟:收集特定歷史時間段內的拋光數據,所述數據包括該時間段內多次測量的線下拋光速率,以及該時間段開始時的拋光速率結束時的拋光速率;根據這些歷史數據計算每次拋光的拋光厚度調整量,從而將化學機械拋光設備中損耗部件的損耗情況進行評估并及時反饋,從而及時調整化學機械拋光設備的拋光速率,以便使得化學機械拋光設備可以始終以恒定的拋光速率進行工作,從而減小停機維護的頻率,提高工作效率。
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“用于動態調整化學機械拋光速率的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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