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碳化硅晶片化學機械拋光后表面保護方法

853   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:45
本發明涉及一種碳化硅晶片化學機械拋光后表面保護方法，包括如下步驟：1）將多線切割后的晶片進行機械加工處理，2）將氫氟酸溶液稀釋到一定濃度后備用，3）將所述步驟1）中加工處理后的晶片放置于稀釋后的氫氟酸溶液中，靜置一段時間，4）將所述步驟3）中靜置完成后的晶片取出用純水徹底沖洗，5）將沖洗后的晶片進行干燥處理后將其轉移至檢測臺進行檢測。本發明的氫氟酸溶液對拋光后的碳化硅晶片進行清洗可以抑制氧化膜的形成，降低了下道工序的工作難度，提高了生產效率。
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聲明：
“碳化硅晶片化學機械拋光后表面保護方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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