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三維微區電化學沉積的閉環控制系統

1149   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:44
本發明提供了一種三維微區電化學沉積的閉環控制系統，其包括：微管裝置，工作臺及總控器，其中微管裝置及工作臺分別與總控器電控連接，且微管裝置及被加工品表面與總控器形成第一回路，其中總控器內存儲有第一、二閉環控制方案，當執行第一閉環控制方案時，總控器控制微管裝置與工作臺承載的被加工品表面逼近，直至總控器檢測到第一回路反饋出預設逼近電流值Ia時停止，并執行第二閉環控制方案，使總控器控制微管裝置與工作臺配合，以在被加工品表面開始電化學沉積加工，從而確保打印過程穩定進行，解決了現有技術中可能導致打印圖案中斷，或者導致微管堵塞等問題。
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“三維微區電化學沉積的閉環控制系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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