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基于氨氣的化學氣相沉積設備

830   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 06:59:02
本實用新型涉及氨氣化學氣相沉積技術領域,且公開了一種基于氨氣的化學氣相沉積設備,包括反應箱,所述反應箱側邊固定連接有控制器,所述控制器頂部固定連接有智能閥,所述智能閥側邊固定連接有輸氣管,所述智能閥側邊固定連接有輸氣計量儀,所述輸氣計量儀與反應箱和控制器相連接,所述控制器側邊固定連接有信號接收器,所述控制器底部固定連接有加熱器,所述加熱器與反應箱相連接,所述反應箱表面固定連接有氣體檢測儀。該基于氨氣的化學氣相沉積設備,通過反應箱、控制器、智能閥、輸氣管、輸氣計量儀、信號接收器和加熱器等部分的連接和作用,達到遠程操作打破空間限制,不直接接觸保障安全,簡單操作數值可控的效果。
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“基于氨氣的化學氣相沉積設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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