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具有抽真空去除管路殘余氣體功能的化學吸附儀

757   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:59:01
一種具有抽真空去除管路殘余氣體功能的化學吸附儀，第一氣源通過管路與第一截止閥的入口連接，第二氣源通過管路與第二截止閥的入口連接，第一截止閥和第二截止閥的出口通過管路與流量控制器的入口連接，所述流量控制器出口通過管路與U形樣品管入口連接，U形樣品管的出口通過管路與檢測器的入口連接，所述檢測器的入口通過管路與所述兩位三通閥的入口連接，所述兩位三通閥的兩個出口分別連接真空泵和排氣管。通過所述真空泵給整個氣路系統抽真空可以消除管路死體積中殘余氣體對測試的影響；同時，通過加熱抽真空的方式對樣品進行活化預處理，可提升活化效率，使樣品表面潔凈程度更高。
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