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化學機械拋光傳輸機器人系統

726   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:58:11
本發明提出一種化學機械拋光傳輸機器人系統，包括：執行機構包括機器人本體和支撐裝置，機器人本體包括爪、手爪翻轉機構、小臂體、大臂體和套筒，支撐裝置包括：直線導軌滑臺和導軌絲杠；檢測器用于檢測執行機構的工作狀態參數以生成檢測信息；控制裝置用于控制手爪的運動位移和運動角度，包括：上位控制器、主控制器、運動控制器、伺服驅動器、電機和編碼器，上位機控制器用于接收用戶輸入的操作指令；編碼器用于檢測相應的電機的狀態信息；主控制器用于生成執行機構的運動指令，運動控制器用于按照預設控制算法計算電機控制量；伺服驅動器用于計算相應電機的控制轉矩；電機用于在相應的控制轉矩的控制下驅動執行機構運動。
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聲明：
“化學機械拋光傳輸機器人系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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