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化學機械拋光中延長研磨墊壽命的方法

806   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:57:21
本發明公開了一種化學機械拋光中延長研磨墊壽命的方法,包括以下步驟:第一步,測量不同使用時期研磨墊的研磨墊溝槽深度和研磨墊厚度,從而確定研磨墊的不同區域的切削速度;第二步,設定修正盤在研磨墊不同區域的停留時間;第三步,檢測研磨墊不同區域的研磨粒和化學機械拋光的研磨速率;第四步,測量使用到壽命的研磨墊的研磨墊溝槽深度和研磨墊厚度;第五步,針對上面幾步的檢測結果設定修正盤在研磨墊不同區域的壓力;第六步,重復第三步到第五步,直到找到適合的壓力參數,使研磨墊各個區域的面內損耗和溝槽深度趨于一致。本發明通過對研磨墊各個區域壓力的設置,使研磨墊的切削更均勻,可以延長研磨墊的使用壽命,降低生產成本。
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