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用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測系統

766   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:56:04
本實用新型涉及半導體行業中SO2濃度的檢測的領域，公開一種用于檢測半導體工廠二氧化硫氣氛的在線檢測系統，包括：用于收集取樣點的待檢測氣體的收集袋；設置在收集袋內的四電極電化學二氧化硫傳感器；用于對四電極電化學二氧化硫傳感器采集到的氣體濃度檢測值進行處理的處理器。這里通過將待檢測氣體收集至收集袋中，并通過四電極電化學二氧化硫傳感器對待檢測氣體的濃度進行檢測，四電極電化學二氧化硫傳感器檢測精度高，并且為了進一步提高檢測精度，這里對待檢測氣體進行多次檢測，并將獲取的待檢測氣體的檢測值通過處理器經過一系列的計算。
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