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晶圓失效分析中的樣品處理方法

967   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:54:50
本發明公開了一種晶圓失效分析中的樣品處理方法，先對晶圓進行研磨，去除晶圓表面的介質層及金屬互連層，僅保留前段工藝層，然后通過氫氟酸溶液進行浸泡剝層。在氫氟酸溶液浸泡過程中，硅襯底與金屬銅會發生電化學反應，硅襯底作為電池的負極會出現腐蝕現象；通過研磨去除硅襯底上的銅金屬互連線，避免了電化學反應的發生，減少了硅襯底的腐蝕。
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