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芯片結構分析方法

1054   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:54:50
本發明提供一種芯片結構分析方法，所述分析方法包括步驟：研磨焊球，并在研磨焊球過程中，控制研磨功率使研磨產生的振動傳遞至中間層，在中間層上形成裂紋；去除鈍化層，去除形成裂紋的中間層，對金屬線路層進行分析。通過研磨焊球產生振動，并通過控制研磨工藝參數，將研磨過程中產生的振動能準確傳遞至中間層，使包括掩膜層和通孔層的中間層產生裂紋。產生裂紋的中間層結構強度降低，并且層間結合力降低，更容易去除，無需使用特殊化學溶劑或使用專業研磨機，方法操作性強的同時效率高。并且，利用焊球作為傳遞振動能的中間介質，振動能的傳遞過程更為緩和可控，焊球也可以起到一定的保護功能，防止對金屬線路層造成破壞。
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聲明：
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化學分析
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