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半導體芯片的失效分析方法

1036   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:54:46
本發明公開了一種半導體芯片的失效分析方法，包括：切割半導體芯片制備具有橫截面的樣品；對樣品的衡截面進行研磨拋光、水洗并干燥樣品；配置化學染色液；將拋光好的樣品放入所述化學染色液中進行染色處理；對染色處理后的樣品進行清洗并干燥樣品；將樣品放置在掃描電鏡中進行檢查并進行顯微攝影，進行失效分析。本發明在對樣品進行研磨拋光之后，還采用化學染色液對樣品表面進行化學處理，最后才使用掃描電子顯微鏡對摻雜物分布和結面輪廓進行二維描述，并且能夠以較高的空間分辨率精確描繪摻雜剖面，從而可以對樣品的失效節點進行詳細而準確的分析。
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“半導體芯片的失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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