一種激光燒蝕電感耦合等離子體質譜原位統計分布分析系統,屬于材料分析表征技術領域。包括激光燒蝕進樣系統、ICP離子源系統、接口系統、離子傳輸系統、質譜檢測系統、連續激發同步掃描的樣品移動/定位系統和對采集到的質譜信號進行數學解析的信號處理系統?;跇悠返倪B續激發同步掃描移動/定位和激光燒蝕ICP-MS的、可以實現金屬或非金屬材料非平整表面大尺度范圍內化學成分及其狀態的原位統計分布分析。優點在于,既可以用于金屬樣品,又適用于非金屬樣品;可分析低至0.1μg/g元素的含量和分布;比金屬原位分析儀的靈敏度提高3個數量級;既適用于表面規則平整的樣品,也適用于不規則或異型面樣品。
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我是此專利(論文)的發明人(作者)