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用于生物化學應用中極低電流測量的噪聲屏蔽技術

984   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:50:36
本發明公開了一種具有集成噪聲屏蔽物的裝置。裝置包括基本上包圍半導體裝置的多個垂直屏蔽結構。裝置進一步包括位于半導體裝置上方基本上充滿導電流體的開口，其中，多個垂直屏蔽結構和導電流體屏蔽半導體裝置免受環境輻射的影響。在一些實施例中，裝置進一步包含位于半導體裝置下方的導電底部屏蔽物，其屏蔽半導體裝置免受環境輻射的影響。在一些實施例中，開口被配置為允許將生物樣本引入至半導體裝置中。在一些實施例中，垂直屏蔽結構包括多個通孔，其中，多個通孔中的每個把多于一個的導電層連接在一起。在一些實施例中，裝置包括納米孔裝置，并且其中，納米孔裝置包括納米孔陣列的單一單元。
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“用于生物化學應用中極低電流測量的噪聲屏蔽技術” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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