本實用新型公開了一種能在制程中在線將液體中的化學污染物微粒含量監測出來的在線實時濕加工化學污染物監測裝置。該監測裝置設置在監測器(8)內,包括:一發出入射光束(31)的發光部(2);一設置于發光部(2)之入射光束(31)路徑上并反射后形成反射光束(32)的反射部(4);一內有流體(6)流動且設置于前述反射光束之路徑上被反射光束照射的透明管(5),前述反射光束(32)在透明管(5)上造成交匯處(62);及一設置于前述交匯處(62)側端且用于收集交匯處(62)所散射出散射光束(33)的監測部(7)。
聲明:
“在線實時濕加工化學污染物監測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)