合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 化學機械拋光后芯片表面形貌評測方法及系統

化學機械拋光后芯片表面形貌評測方法及系統

887   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:49:08
本發明公開了一種化學機械拋光后芯片表面形貌評測方法及系統，屬于集成電路制造技術領域。該化學機械拋光后芯片表面形貌評測方法，包括：獲取芯片在上一工藝階段的表面形貌參數和研磨液的選擇比；獲取當前工藝階段的工藝參數和研磨液的選擇比；將芯片的當前表面版圖劃分為多個連續窗格，分別提取每個窗格的版圖特征參數；判斷研磨液的選擇比是否發生變化，如果是，則根據上一工藝階段的表面形貌參數、工藝參數、版圖特征參數和當前工藝階段研磨液的選擇比，計算芯片在當前工藝階段的表面形貌參數；根據當前工藝階段的表面形貌參數對芯片的表面形貌進行評測。該化學機械拋光后芯片表面形貌評測方法，能夠精確地對芯片表面形貌進行評測。
登錄解鎖全文
聲明：
“化學機械拋光后芯片表面形貌評測方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：測試玻璃化學穩定性的方法
下一個：電化學測試探頭

與 “化學機械拋光后芯片表面形貌評測方法及系統” 相關技術

? 超聲波輔助粉末冶金成型裝置
? 冶金物料用滾筒烘干機的支撐傳動裝置
? 螢石粉制球用壓球機
? 粉末冶金設備及用于VVT系統中殼體鏈輪的制造方法
? 礦山開采用地質鑿孔設備
? 礦山固廢膠結充填料混料裝置
? 礦山設備運行安全態勢評估方法及系統
? 多地形鉆孔劈裂一體機
? 鑿巖臺車的鉆臂折疊機構
? 用于礦山設備輪軸拆裝的液壓維修設備

相關化學分析設備推薦

進口玻璃殼X射線管
車間液氨檢測報警器
臺式直讀光譜儀
防凍壓力式張力計 土壤監測儀
土壤溫濕度鹽分速測儀 土壤測試儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?超聲波輔助粉末冶金成型裝置
?冶金物料用滾筒烘干機的支撐傳動裝置
?螢石粉制球用壓球機
?粉末冶金設備及用于VVT系統中殼體鏈輪的制造方法
?礦山開采用地質鑿孔設備
?礦山固廢膠結充填料混料裝置
?礦山設備運行安全態勢評估方法及系統
?多地形鉆孔劈裂一體機
?鑿巖臺車的鉆臂折疊機構
?用于礦山設備輪軸拆裝的液壓維修設備

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:138
2 取、制樣安全淺析
下載:130
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:106
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:97
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:94
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:94
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:92
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:90
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:89
10 制樣室裝修設計技巧
下載:88
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX