本發明是有關于一種電鍍銅加速劑分析方法及其沉積電解液。該電鍍銅加速劑分析方法,包括進行選擇性吸附步驟及電化學還原沉積步驟。首先,將黃金電極放入含有有機添加劑的電鍍液中,并將此黃金電極浸置于此電鍍液中一段時間以進行選擇性吸附,使黃金電極吸附含硫的加速劑。之后,以超純水沖洗此已吸附含硫化合物的黃金電極,再將此黃金電極放入含有聚乙二醇及氯離子的沉積電解液中,并進行陰極循環伏安掃瞄以便沉積銅金屬,最后將所得的極化曲線進行積分并制作檢量線。該沉積電解液包含:一銅離子;一酸;一聚二醇類化合物;以及一鹵素離子。
聲明:
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