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終點探測裝置和化學機械研磨裝置

960   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:46:30
本實用新型提出了終點探測裝置和化學機械研磨裝置，用于探測3D晶圓的保留厚度，終點探測裝置包括光源發射器、分光儀和位于光源發射器和分光儀之間的棱鏡組；由光源發射器發射出紅外線，經由棱鏡組到達3D晶圓的表面，3D晶圓表面和內部反射出的紅外線再經由棱鏡組到達分光儀上，并通過分析分光儀上的光線能夠實時得出3D晶圓的保留厚度；所述化學機械研磨裝置包括內部設有終點探測裝置的研磨盤、研磨墊和晶圓承載裝置，晶圓承載裝置位于研磨墊上表面，將終點探測裝置嵌入至機械研磨裝置的研磨盤中，能夠由終點探測裝置實時監測出3D晶圓的保留厚度，能夠提高控制精準度，降低重新研磨的頻率。
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