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拋光液物理參數測量裝置、測量方法和化學機械拋光設備

749   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:46:30
本發明公開了一種用于化學機械拋光設備的拋光液物理參數測量裝置及測量方法?；瘜W機械拋光設備包括拋光頭、轉臺、拋光盤和拋光墊,其中拋光墊設置有通孔。拋光液物理參數測量裝置包括傳感器,傳感器設置在拋光盤內且適于通過拋光墊內的通孔與拋光液接觸以測量拋光液的物理參數;變送器,變送器設置在轉臺內且與傳感器相連用于將傳感器的測量信號轉換為標準電信號;和處理單元,處理單元與變送器相連用于獲取標準電信號以得到拋光液的物理參數。根據本發明實施例的拋光液物理參數測量裝置可以在線測量并得到拋光頭與拋光墊之間的拋光液的物理參數。本發明還公開了一種具有所述拋光液物理參數測量裝置的化學機械拋光設備。
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