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金屬有機物化學氣相沉積設備中實時測量薄膜溫度的方法及測量裝置

925   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:46:29
金屬有機物化學氣相沉積設備中實時測量薄膜溫度的方法及測量裝置，在氣相沉積工藝過程中，監測外延片的熱輻射通過噴淋孔的輻射光，通過對輻射光進行濾波分離來檢測兩個或兩個以上不同波長的薄膜輻射光能量，本發明的測量裝置包括分光機構、光學探測器和數據采集系統，本發明簡化掉現有在線測量采用單波長光學測溫技術中首先測量薄膜表面發射率的步驟，消除了接收探測器立體接收角的變化和探測器與被測物距離變化所帶來的誤差，極大地提高了MOCVD在線溫度測量儀器的使用范圍和測量精度，通過本發明方法進行處理獲得更準確的薄膜溫度。
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